Cautxú perfluoroèter (FFKM)és un excel·lent material de segellat. A causa del seu rendiment superior, ha trobat un ús generalitzat a tot el mónfabricació de semiconductorssistema. Un dels consumibles principals necessaris per a la producció de circuits integrats són els anells de segellat de perfluoroèter.
Els principals monòmers del cautxú perfluoroèter són el tetrafluoroetilè i el perfluoroalquil vinil èter, que es copolimeritza amb una petita quantitat de tercers monòmers amb punts de vulcanització. És un cautxú que no conté cap enllaç CH. El contingut de fluor de la seva estructura molecular, l'estructura i el contingut d'èter vinílic perfluorat, i l'energia d'enllaç i la quantitat d'enllaços de reticulació en el procés de vulcanització influeixen en el rendiment del compost vulcanitzat i la temperatura de transició vítrea. L'estructura i els components són diferents, així com el seu rendiment. Les següents són les principals característiques de rendiment del cautxú perfluoroèter:
1) Propietats físiques: la densitat és d'1.9-2.0g/cm3, les propietats físiques i mecàniques són similars a les del fluorocautxú i el conjunt de compressió a alta temperatura és superior al fluorocautxú.
2) Resistència química: és resistent químicament.
3) Resistència a altes i baixes temperatures: la temperatura de funcionament normalment és de 260-290 graus, però es pot utilitzar de manera intermitent a 316 graus. La Tg (temperatura de transició vítrea) d'alguns cautxús de perfluoroèter és de -19 graus.
4) Resistència al vapor d'alta temperatura.
5) Baixa precipitació i alliberament.
6) Resistència al plasma.
Té característiques de producte de gran neteja i baixa precipitació a l'entorn del plasma, i pot suportar l'impacte del plasma durant molt de temps. ElLa fiabilitat de les juntes d'elastòmer és fonamental en la fabricació de semiconductors i el cost d'aturar la producció per substituir les juntes és extremadament elevat. Els requisits de neteja i puresa dels segells són extremadament estrictes per evitar possibles riscos. Al mateix temps, els segells han de poder funcionar durant un període prolongat de temps sota la pressió d'un buit elevat, gasos químics corrosius i un ambient d'alta temperatura.
Les matèries primeres de cautxú perfluoroèter són cares i s'utilitzen habitualment en la fabricació de semiconductors. És resistent a la corrosió per plasma, corrosió de gas, corrosió àcida i àlcali, corrosió a alta temperatura, alts requisits de neteja per a segells de goma, ajuda a mantenir la integritat del segell, redueix els temps de manteniment i millora la seguretat i és el millor segell per a la fabricació de semiconductors. Material.